Papers from the 7th AVS International Conference on Microelectronics and Interfaces 6 - 8 March 2006, Austin, Texas

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	ICMI (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Rogers, Bridget R. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	New York AVS 2006
Schriftenreihe:	Journal of vacuum science & technology : B, Microelectronics and nanometer structures 24,5
Schlagworte:	Grenzschicht > Mikroelektronik > Konferenzschrift
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