Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges

Predictive simulation of semiconductor processing status and challenges

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Dabrowski, Jarek (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Berlin u.a. Springer 2004
Schriftenreihe:Springer series in materials science 72
Schlagworte:
Microelectronics > Technological innovations > Semiconductors > Simulation methods > Atomare Bewegung > Computersimulation > Transistor > Prozesssimulation > Halbleitertechnologie > Aufsatzsammlung
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Includes bibliographical references and index.
Beschreibung:XVII, 490 S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:3540204814
3-540-20481-4