Microprocesses and nanotechnology [14th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2001)]

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Microprocesses and Nanotechnology Conference (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Ochiai, Yukinori (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Tokyo IPAP 2002
Schriftenreihe:	Japanese journal of applied physics / 1 41,6B
Schlagworte:	Mikroprozessor > Mikrosystemtechnik > Nanotechnologie > Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Einzelaufn. eines Zeitschr.-H.
Beschreibung:	S. 4003 - 4428, 16 S. Ill., graph. Darst.