Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Dimer, Martin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2002
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 5, Grund- und Werkstoffe ; 651
Schlagworte:	Hochschulschrift > Amorpher Zustand > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren > Tribologie > Kohlenwasserstoffe
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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