Die Schmelzenströmung im Si-Czochralski-Prozeß unter dem Einfluß elektromagnetischer Felder

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Wetzel, Thomas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 2001
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Fortschritt-Berichte VDI Reihe 9, Elektrotechnik, Elektronik ; 328
Schlagworte:	Schmelze > Silicium > Elektromagnetisches Feld > Strömung > Einkristall > Czochralski-Verfahren > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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