Berechnungen zur Schichtdickenverteilung bei PVD-Beschichtungen in Anlagen mit rotierendem Substrathalter

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Hollstein, Frank (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Zittau ; Görlitz Rektor der Hochsch. für Technik, Wirtschaft und Sozialwesen 1997
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Hochschule für Technik, Wirtschaft und Sozialwesen <Zittau; Görlitz>: Wissenschaftliche Berichte 47
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