Papers presented at the joint symposium: The 11th Symposium on Plasma Science for Materials and the 4th Asia Pacific Conference on Plasma Science & Technology Coogee, Sydney, NSW, Australia, 27 - 29 July 1998

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Symposium on Plasma Science for Materials (VerfasserIn), Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Yoshida, Toyonobu (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam u.a. Elsevier 1999
Schriftenreihe:Thin solid films 345,1
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