Papers presented at the joint symposium: The 11th Symposium on Plasma Science for Materials and the 4th Asia Pacific Conference on Plasma Science & Technology Coogee, Sydney, NSW, Australia, 27 - 29 July 1998
Gespeichert in:
Körperschaften: | , |
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Weitere Verfasser: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam u.a.
Elsevier
1999
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Schriftenreihe: | Thin solid films
345,1 |
Schlagworte: | |
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