Aspekte der SiC-Technologie: Micropipes und Implantantionsdefekte

Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Heindl, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Erlangen Lehrstuhl für Mikrocharakterisierung 1999
Schriftenreihe:	Mikrostrukturelle Materialforschung 9
Schlagworte:	Zylindrischer Hohlraum > Silicium > Siliciumcarbid > Ionenimplantation > Technik > Gitterbaufehler > Hochschulschrift
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