Scanning probe microscope with high resolution capacitive transducers
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Bremerhaven
Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss.
1998
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| Ausgabe: | Rev. and shortened version |
| Schriftenreihe: | Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik]
32 |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Zugl. Kurzfassung von: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1995 u.d.T.: Zhao, Xianbin: Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer |
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| Beschreibung: | II, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3897012073 3-89701-207-3 |