Scanning probe microscope with high resolution capacitive transducers

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Zhao, Xianbin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Bremerhaven Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss. 1998
Ausgabe:	Rev. and shortened version
Schriftenreihe:	Physikalisch-Technische Bundesanstalt <Braunschweig>: [PTB-Bericht / Abteilung Fertigungsmeßtechnik] 32
Schlagworte:	Raumauflösung > Kapazitiver Sensor > Rastersondenmikroskop
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