Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper

Zugl: Halle, Univ., Diss., 1997

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Mack, Stefan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1997
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 2] 436
Schlagworte:	Silicium > Bonden > Wafer > Glas > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper