Analyse der elektrischen Eigenschaften von Versetzungen in Silicium durch elektronenstrahlinduzierte Methoden Einfluß einer Metalldekoration

Dissertation, Technische Universität Cottbus, 1997

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Knobloch, Klaus (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1997
Schlagworte:	DLTS > Versetzung > Silicium > EBIC-Verfahren > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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