Ion solid interactions : fundamentals and applications

Ion solid interactions fundamentals and applications

Modern technology depends on materials with precisely controlled properties. Ion beams are a favored method to achieve controlled modification of surface and near-surface regions. In every integrated circuit production line, for example, there are ion implantation systems. In addition, in integrated...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Nastasi, Michael (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Mayer, James W. (VerfasserIn), Hirvonen, James K. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Cambridge Cambridge Univ. Press 1996
Ausgabe:1. publ.
Schlagworte:
Ionen > Vaste stoffen > Ion bombardment > Ion implantation > Industrial applications > Solids > Effect of radiation on > Festkörper > Ion > Ionenimplantation > Ionenstrahlbearbeitung
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