Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
5671 |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Teilw. zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. A. Both |
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| Beschreibung: | III, 103 S. Ill., graph. Darst. |