Entwicklung und Untersuchung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors mit einer Differential-Tunnelstrecke

Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schoth, Andreas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1995
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 8] 520
Schlagworte:	Beschleunigungssensor > Tunnelkontakt > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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