Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik

Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. C. Müller, 1994

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Müller, Claas (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1995
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 5609
Schlagworte:	Mikrosystemtechnik > Spektrometer > LIGA-Verfahren > Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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