Ion implantation technology selected papers of the Tenth International Conference on Ion Implantation Technology, Catania, Italy, June 13 - 17, 1994
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
Amsterdam
North-Holland
1995
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Schriftenreihe: | Nuclear instruments and methods in physics research / B
96,1/2 |
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Beschreibung: | Stücktitelaufnahme zu e. Zeitschriftenheft |
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Beschreibung: | XIII, 439 S. Ill., graph. Darst. |