Ion implantation technology selected papers of the Tenth International Conference on Ion Implantation Technology, Catania, Italy, June 13 - 17, 1994

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Conference on Ion Implantation Technology (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Coffa, Salvatore (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Amsterdam North-Holland 1995
Schriftenreihe:Nuclear instruments and methods in physics research / B 96,1/2
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Beschreibung
Beschreibung:Stücktitelaufnahme zu e. Zeitschriftenheft
Beschreibung:XIII, 439 S.
Ill., graph. Darst.