Handbook of multilevel metallization for integrated circuits materials, technology, and applications

It is widely recognized that the successful design, development, and integration of multilevel metallization (MLM) systems is and will continue to be key to current and future VLSI technologies. All major semiconductor companies have significant ongoing research teams focused in this area. These tea...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Wilson, Syd R. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Westwood, NJ Noyes 1993
Schriftenreihe:	Materials science and process technology series
Schlagworte:	Circuitos integrados > Circuits intégrés > Integrated circuits > Design and construction > Metallizing > Integrierte Schaltung > Halbleiterschicht > Metallisieren > Mehrschichtsystem > Aufsatzsammlung
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