Kombination von elektrischen Streß- und Grenzflächenuntersuchungen zur Charakterisierung dünner Isolatorschichten
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1. Verfasser: | |
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Format: | UnknownFormat |
Sprache: | und |
Veröffentlicht: |
1993
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Beschreibung: | Chemnitz-Zwickau, Techn. Univ., Diss.. - Mikroreprod. e. Ms. 156 S. |
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Beschreibung: | 2 Mikrofiches 24x |