Dünnschichtschaltungen für künftige Elektronikgenerationen 2. Aufdampftechnik / von G. Haug ... - 1976. - (... ; 76,21)

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hoppe, Karl-Heinz (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:und
Veröffentlicht: München ZLDI 1976
Schriftenreihe:Deutschland, Bundesrepublik, Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. T, Technologische Forschung und Entwicklung 76,21
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