Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Jiang, Xin (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1990
Schriftenreihe:Forschungszentrum <Jülich>: Berichte 2397
Schlagworte:
Silicium > Dünne Schicht > Wasserstoff > Kohlenstoff > Amorpher Zustand > Mechanische Eigenschaft > Hochschulschrift
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