Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Jiang, Xin (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1990
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Jülich>: Berichte 2397
Schlagworte:	Silicium > Dünne Schicht > Wasserstoff > Kohlenstoff > Amorpher Zustand > Mechanische Eigenschaft > Hochschulschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990. - Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich, Jül 2397
Beschreibung:	92 S. graph. Darst.