Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Vogt, Holger (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 167
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