Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Vogt, Holger (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 167
Schlagworte:	Mehrschichtschaltung > Integrierte Schaltung > CMOS > Metallisieren > LSI
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