Elektronenoptischer Maskierungsprojektor mit Photokathode für Verkleinerung = ˜Report-Nummerœ BMFT-FB-T 81-089

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Möllenstedt, Gottfried (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1981
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 81,1 - 81,89
Schlagworte:
Elektronenstrahllithografie
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