Atomistische Ursachen des Wafer-Verzuges = ˜Report-Nr.œ BMFT-FB-T 86-086 = Atomistic origin of wafer distortion

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Alt, Hans Christian (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1986
Schriftenreihe:Deutschland <Bundesrepublik> / Bundesminister für Forschung und Technologie: Forschungsbericht T / 86,001-86,999 86,86
Schlagworte:
Wafer > Silicium
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