Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics symposium held November 29 - December 1, 1989, Boston, Massachusetts, USA

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Besmann, Theodore M. (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. 1990
Schriftenreihe:Materials Research Society: Materials Research Society symposia proceedings 168.
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