Operation of broad-beam sources

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kaufman, Harold R. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Robinson, Raymond S. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Alexandria, Va Commonwealth Scientific Corporation 1987
Schlagworte:	Electron beams > Ion bombardment > Ion sources > Breitstrahl-Ionenquelle > Industrie
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