Modellbeschreibung des Belichtungsvorganges in der Röntgenstrahllithographie für hochintegrierte Schaltkreise

München, Techn. Univ., Diss., 1985

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pongratz, Siegfried (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1985
Schlagworte:
Belichtung > Röntgenlithografie > Modellierung > Integrierte Schaltung > Hochschulschrift
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