Agglomerate atomarer Fehlstellen in Silizium Swirl-Defekte u. Strahlenschädigung; e. Unters. mit Hilfe d. Hochspannungselektronenmikroskopie

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Föll, Helmut (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart 1976
Schlagworte:	Gitterbaufehler > Silicium > Hochschulschrift
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