Improvements in the properties of NbN layers through the presence of small amounts of aluminium during sputtering

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Haase, E. L. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Karlsruhe 1988
Schriftenreihe:	Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe 4409
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Beschreibung
Beschreibung:	9 S.