Plasma-induzierte Abscheidung dünner Schichten aus einigen metallorganischen Verbindungen

Tübingen, Univ., Diss., 1987

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Oehr, Christian (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1987
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