Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Höfflinger, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Zimmer, Günter (VerfasserIn), Graf, Heinz Gerd (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Opladen Westdt. Verl. 1982
Schriftenreihe:	Nordrhein-Westfalen: Forschungsberichte des Landes ... 3133 : Fachgruppe Elektrotechnik, Optik
Schlagworte:	MOS-Schaltung > Getterung > Ionenimplantation > Photodiode > Getter
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