Herstellung und Charakterisierung ionenimplantierter Silizium-Mesfets

Dortmund, Univ., Diss., 1983

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Zimmermann, Frank (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 1982
Schlagworte:
Silicium > Ionenimplantation > MES-FET > Hochschulschrift
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dortmund, Univ., Diss., 1983
Beschreibung:86 S.
Ill.