Chemische Gasphasenabscheidung der ternären Systeme Titan - (Silizium, Germanium) - Kohlenstoff

München, Univ., 18 - Fachbereich Chemie u. Pharmazie, Diss., 1976.

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schweitzer, Klaus
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
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