Diamantnukleation auf modifizierten Substratoberflächen

Frankfurt am Main, Univ., Diss., 1998. Maschinenschrift. (Nicht für den Austausch)

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schürmann, Julia B.
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Schlagworte:
CVD-Verfahren > Wafer > Silicium > Diamant
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Beschreibung
Zusammenfassung:Frankfurt am Main, Univ., Diss., 1998. Maschinenschrift. (Nicht für den Austausch)
Beschreibung:177 Bl.
Ill., graph. Darst.