Ion implantation

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Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Dearnaley, Geoffrey
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam North-Holland Publ. Co. 1973
Schriftenreihe:	Defects in crystalline solids 8
Schlagworte:	Ionenimplantation
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