Elektroaktive Passivierung von hochsperrenden pn-Übergängen in Silizium mit amorphen, wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten (a - C:H)

Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1995

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Barthelmess, Reiner
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Schlagworte:
Siliciumbauelement > pn-Übergang > Passivschicht > Kohlenstoff > Amorpher Zustand > Wasserstoff
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