Laserdiagnostische Untersuchungen an mikrowellenangeregten Prozeßplasmen zur Schichtabscheidung und Reinigung

Düsseldorf, Univ., Diss., 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schiffer, Christian J.
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Düsseldorf, Univ., Diss., 1995
Beschreibung:IV, 139, VIII S.
graph. Darst.