Spurenelementbestimmung in hochreinem Al, Ti und Co für die Mikroelektronik mittels massenspektrometrischer Isotopenverdünnungsanalyse

Regensburg, Univ., Diss., 1993

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Beer, Bernhard
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Schlagworte:	Reinstmetall > Kontamination > Schwermetall > Alphastrahler > Isotopenverdünnungsanalyse > Massenspektrometrie
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