Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Borgwardt, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kallfass, Traugott, Lüder, Ernst
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe 1985
Schriftenreihe:	Technologische Forschung und Entwicklung. Elektronik
Schlagworte:	Feuchtigkeitssensor > Taupunkt > Sensor > Tantal > Dünnschichttechnik
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