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A New Cyclic Perfluoropolymer Suitable for the Micro-device Prosess

von Nakamura, M.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu (1991)

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