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    NaMIS - Nanointegration als Schlüsseltechnologie für einen MEMS basierten IR-Emitter für spektroskopische Sensorsysteme; Teilvorhaben: Integration hocheffizienter, langzeitstabiler Nanostrukturen in IR-Emitter für spektroskopische Anwendungen : Schlussbericht zum Förderprojekt : Bewilligungszeitraum: 01.05.2016 bis 31.10.2018, Verlängerung bis 30.04.2019 : Berichtszeitraum: 01.05.2016-30.04.2019 = Nanointegration as key technology for MEMS based IR-emitter in spectroscopic sensor systems
    von Wedrich, Karin
    Veröffentlicht 2019
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    Conceptual design of a microscale balance based on force compensation
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