Structural Studies of TEOS-based Plasma CVD SiO Films using Fourier Transform Infrared and Thermal Desorption Spectroscopies

von Tokitoh, S.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (42. : 1992 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 42kai Shinpojiumu (1991)