Initial Stage of Thermal Oxidation of Si (111) Surfaces

von Tabe, M.
Veröffentlicht in Chō-LSI-Urutora-Kurīn-Tekunorojī-Shinpojiumu (23 : 1994 : Tokio) 23. Chō-LSI Urutora Kurı̄n Tekunorojı̄ Shinpojiumu ; Pt. 1 (1994)