Die plasmagestützte Gasphasenabscheidung (PACVD) - ein leistungsfähiges Verfahren zur Beschichtung von Werkzeugen md Bauteilen

von Leonhardt, A.
Veröffentlicht in Randschichttechnik - Erzeugung und Anwendung tribologisch beanspruchter Schichtverbunde (1999)