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DEGRADATION IN QUALITY OF THIN SILICON DIOXIDE BY ION IMPLANTATION

von Sugiura, S.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (28. : 1985 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 28kai Shinpojiumu (1985)

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