FOCUSED PHOSPHORUS ION BEAM IMPLANTATION INTO Si

von Madokoro, Y.
Veröffentlicht in Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu (33. : 1987 : Tokio) Handōtai, Shūseki Kairo Gijutsu Dai 33kai Shinpojiumu (1987)

Reduction of Leakage Current in Junctions for Recessed Memory Array using Intrinsic Gettering

von Yamashita, H.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (46 : 1994 : Tokio) 46. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1994)

Focused Ion Beam Implantation into Si

von Tamura, M.
Veröffentlicht 1988