The Influence of Integration Process on the Imprint in Pt-Pzt-Pt Ferroelectric Capacitors

von Lee, M. H.
Veröffentlicht in Handōtai-Shūseki-Kairo-Gijutsu-Shinpojiumu (53 : 1997 : Tokio) 53. Handōtai Shuseki Kairo Gijutsu Shinpojiumu Kōen Ronbunshū (1997)