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    Wachstumskern: PolyPhotonics Berlin - Optische Komponenten aus Kunststoff, Verbundprojekt 1: Wellenleitermaterialien auf Polymerbasis für optische Anwendungen, Teilprojekt 1.5: Stukturierung : Abschlussbericht : Laufzeit und Berichtszeitraum: 01.09.2016-31.08.2019
    Veröffentlicht 25022020
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    Weiterentwicklung und Überführung der PE-ALD-Technologie in ein industriell nutzbares Verfahren : Projekt-Abschlussbericht : Projektlaufzeit: 01.07.2012 bis 30.04.2014
    von Gargouri, Hassan
    Veröffentlicht 2014
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    Wachstumskern: PolyPhotonics Berlin - optische Komponenten aus Kunststoff; Verbundprojekt 2: Chip- und Aufbautechnologien; Teilprojekt 2.4: Strukturierung und Verkapselung : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.09.2016-31.08.2019 : Berichtszeitraum: 01.09.2016-31.08.2019
    Veröffentlicht 30102019
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    Verbundprojekt: Planare photonische Kristalle in Materialsystemen mit hohem Brechzahlkontrast für die Telekommunikation : Teilvorhaben: Erzeugung periodischer Nanostrukturen mit hohem Aspektverhältnis für photonische Kristalle auf InP-Basis durch Ätzen im induktiv gekoppelten Plasma ; Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.02.2002 bis 31.01.2005
    Veröffentlicht 2005
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    Wachstumskern Potenzial Berlin PolyBoard : Verbundprojekt: Polymer basierte Technologieplattform für hybrid-integrierte optische Komponenten ; Teilprojekt: Optimierte ICP-Ätzprozesse und Anlage für die PolyBoard-Technologie ; Projekt-Abschlussbericht ; Berichtslaufzeit: 01.12.2011 bis 31.03.2014
    Veröffentlicht 2014
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    Abschlußbericht MIKROMAK "Optisches 3D-Inspektionssystem zur ortsaufgelösten Materialkennwerteermittlung an strukturierten Mikrokomponenten, Teilprojekt: "Hierarchie mikromechanischer Teststrukturen" : Berichtzeitraum: 01.01.1996 bis 31.12.1999
    Veröffentlicht 1999
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    Verbundprojekt: Erforschung hochflexibler optischer Präzisionsschichten auf Polymeroberflächen (FlexCoPlas), Teilprojekt: Inline Charakterisierung und Kontrolle der optischen Eigenschaften von Kompositschichten : Abschlussbericht für den Zeitraum 01.08.2013 bis 30.01.2017
    von Richter, Uwe
    Veröffentlicht 240717
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  8. 8
    Verbundprojekt EPICLens: Uniformitätskontrolle optischer Präzisionsbeschichtungen auf 2D- und 3D-Komponenten; Teilprojekt: Untersuchung der in-situ Beschichtungskontrolle an gewölbten Prüflingen mittels Transmission : Abschlussbericht für den Zeitraum 1.8.2018 bis 31.03.2022
    von Richter, Uwe
    Veröffentlicht 190922
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    Lichtmanagement für industriell gefertigte Silizium-Dünnschichtsolarmodule : Teilprojekt: Implementierung von prozessbegleitenden und prozessüberwachenden Messverfahren : Abschlussbericht zum Projekt : für den Zeitraum 7/2007...12/2010
    von Dittmar, Georg
    Veröffentlicht 2011
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    LIST - Großflächiger Lichteinfang in der Silizium-basierten Dünnschichtsolarzellen-Technologie : Teilprojekt: Messtechnik für Silicium-Dünnschichtsolarzellen im industriellen Umfeld : Abschlussbericht zum Projekt für den Zeitraum 6/2011...12/2014 = Measurement technique for thin film solar cells in industrial environment
    von Dittmar, Georg
    Veröffentlicht 2015
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  11. 11
    Neuartige hochauflösende Metrologie an High-End Fotomasken für energieeffiziente Nanoelektronik : Kurz: CoolMaskMetro ; Abschlussbericht zum FuE-Verbundprojekt ; Teilvorhaben: FT-konfokales Mikroellipsometer ; Berichtslaufzeit: 01.09.2011 bis 30.04.2014
    Veröffentlicht 2014
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  12. 12
    Verbundprojekt: Entwicklung hocheffizienter kostengünstiger Vakuum-Beschichtungsverfahren mit höchstem Durchsatz - Simulation, Experiment, Charakterisierung, Kostenrechnung (SIMPLEX) : Teilprojekt: Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten : Abschlussbericht für den Zeitraum 01.10.2014 bis 31.03.2018 (inklusive der kostenneutralen Verlängerung)
    von Richter, Uwe
    Veröffentlicht 18072018
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    Verbundprojekt: "Effizienzsteigerung der Hochrateabscheidung optischer Funktionsschichten durch in-situ Kontrolle und Regelung", Teiprojekt: "Spektroskopische Ellipsometrie und Spektralphotometrie" : Abschlußbericht ; Berichtszeitraum: 1.10.1996 - 31.12.2000
    Veröffentlicht 2001
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    Advanced UV for Life - Verbundprojekt "Hocheffiziente UV-C-LEDs" - Teilprojekt 3: "Optimierung des ALD-Verfahrens für die Template-Herstellung" : Teilprojekt-Schlussbericht : Berichtslaufzeit: 01.01.2015 bis 31.12.2016
    Veröffentlicht 2017
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  15. 15
    "Standardisierung und Normung der Ellipsometrie als universeller Spektroskopie" : gemeinsamer Abschlussbericht WIPANO-Vorhaben : Acronym: SNELLIUS : Berichtszeitraum 01.10.2018-31.03.2021
    Veröffentlicht 2021
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  16. 16
    Schlussbericht im Verbundvorhaben Transparente Leitende Schichten (TCO) für CIGS Absorber : Akronym: TCO4CIGS : 6. Energieforschungsprogramm - Erneuerbare Energien - Photovoltaik
    von Dittmar, Georg
    Veröffentlicht 2019
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